3A-GC?-TK 超高純氣體過濾器

      3A-GC?-TK 超高純氣體過濾器系列產品超高精度可達0.0025um，是工業過濾凈化領域中精度超高的產品，本系列產品都是在十萬級無塵車間內精密制造而成，具有高精度、耐高溫高壓的特性，主要應用于食品、電子、科研、化工等領域。

產品性能參數    

產品特點

■應用范圍廣，流量范圍從15到300SL/min。

■與大多數高純度半導體工藝氣體具有良好的兼容性。

■3納米顆粒過濾能力保持高流量效率，超小壓降。

■5Ra電拋光表面可防止內部污染。

■在去離子水清洗后用熱氮氣烘烤，以滿足半導體工藝標準。

■100萬級無塵無菌車間制造，清潔和包裝環境。

■測試100％氦泄漏。

如有特殊工況，亞特蘭接受OEM定制，免費熱線電話：400-003-1979